Según sus principios operativos, los sensores de presión se pueden clasificar en varios tipos, incluidos los capacitivos cerámicos, los capacitivos metálicos, los extensímetros de película delgada-, los extensímetros, los piezoresistivos de silicio, los capacitivos de silicio y los resonantes de silicio. Entre ellos, los sensores de presión resonante ofrecen la mayor precisión, logrando una precisión de hasta 0,01% FS en todo el rango de temperatura (-40 grados a 85 grados). Debido a su precisión excepcional, se utilizan ampliamente en aplicaciones que requieren una precisión de presión extremadamente alta, como medición de la profundidad del océano, estándares de referencia de presión, medición de parámetros de vuelo de aeronaves y monitoreo meteorológico. Las razones por las que los sensores de presión resonantes de silicio logran una medición de presión de tan alta precisión son las siguientes:
1. La estructura central de un sensor de presión resonante de silicio es un resonador de silicio simétrico de doble-fijación. La frecuencia de resonancia del resonador cambia con la presión aplicada. Como la frecuencia es una propiedad intrínseca de los sólidos, es menos susceptible al ruido de baja-frecuencia y exhibe una variación mínima con la temperatura. Este efecto de filtrado natural da como resultado una alta relación señal-a-ruido.
2. La estructura del resonador de doble-fijación garantiza que cuando el resonador vibre, la fuerza externa neta sea cero. Además, debido al uso de la tecnología de unión anódica MEMS, todo el resonador opera en un ambiente de vacío, logrando un alto factor de calidad.
3. Durante el proceso de diseño, se incorporan estructuras de alivio de tensión-en las áreas térmicamente sensibles del resonador para minimizar la tensión térmica. Esto reduce significativamente la tensión térmica en el resonador.
Los productos de sensores de presión resonantes de silicio de Xi'an Mihui Technology logran una medición de presión de alta-precisión con una precisión del 0,01 % FS en todo el rango de temperatura. Ofrecen una estabilidad anual incomparable de 0,01% FS y admiten salida de frecuencia y salida digital RS485. Estos sensores cubren mediciones de presión absoluta desde 100 kPa hasta 1 MPa. Las especificaciones son las siguientes:
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